Từ vựng tiếng Nhật ngành Bán dẫn: nhóm Chỉ số / kích thước

歩留まり

ぶどまり

tỷ lệ đạt

信頼性

しんらいせい

độ tin cậy

欠陥密度

けっかんみつど

mật độ khuyết tật

清浄度

せいじょうど

độ sạch

電気特性

でんきとくせい

đặc tính điện

注入量

ちゅうにゅうりょう

liều cấy ion

研磨速度

けんまそくど

tốc độ đánh bóng

ドーズ量

ドーズりょう

dose

除去速度

じょきょそくど

tốc độ loại bỏ vật liệu

クリーン度

クリーンど

cấp độ sạch phòng sạch

研磨量

けんまりょう

lượng vật liệu đánh bóng

加速電圧

かそくでんあつ

điện áp gia tốc

到達圧力

とうたつあつりょく

áp suất chân không đạt được

注入角度

ちゅうにゅうかくど

góc cấy ion

真空度

しんくうど

mức chân không

クリーンクラス

cleanroom class

圧力

あつりょく

áp suất

微粒子

びりゅうし

hạt vi mô

テスト時間

テストじかん

thời gian test

線幅

せんぷく

độ rộng đường mạch

装置稼働率

そうちかどうりつ

tỷ lệ vận hành thiết bị

温度

おんど

nhiệt độ

稼働率

かどうりつ

tỷ lệ hoạt động

湿度

しつど

độ ẩm

耐圧

たいあつ

khả năng chịu điện áp

膜厚

まくあつ

độ dày màng

工程能力

こうていのうりょく

năng lực quá trình

故障率

こしょうりつ

tỷ lệ hỏng

不純物濃度

ふじゅんぶつのうど

nồng độ tạp chất

陽圧

ようあつ

áp suất dương

成膜速度

せいまくそくど

tốc độ deposition

濃度分布

のうどぶんぷ

phân bố nồng độ

位置合わせ精度

いちあわせせいど

độ chính xác alignment

差圧

さあつ

chênh áp

堆積速度

たいせきそくど

tốc độ lắng đọng

研磨圧力

けんまあつりょく

áp lực đánh bóng

焦点深度

しょうてんしんど

depth of focus

薬液濃度

やくえきのうど

nồng độ hóa chất

回転速度

かいてんそくど

tốc độ quay

解像度

かいぞうど

độ phân giải

配線抵抗

はいせんていこう

điện trở interconnect

測定精度

そくていせいど

độ chính xác đo

オーバーレイ

overlay alignment

寿命

じゅみょう

tuổi thọ

測定誤差

そくていごさ

sai số đo

洗浄時間

せんじょうじかん

thời gian rửa

RC遅延

アールシーちえん

RC delay

再現性

さいげんせい

tính lặp lại/reproducibility

加速係数

かそくけいすう

hệ số gia tốc

ガス流量

ガスりゅうりょう

lưu lượng khí